近日，济南市艾恩半导体科技有限公司（以下简称“艾恩半导体”）首款自主研发的硅基中束流离子注入机成功下线，这一突破为济南高新区集成电路产业补链强链再添关键一环，进一步完善了芯片制造核心装备的产业拼图。

　　作为山东省集成电路产业重要集聚区，济南高新区先后培育和引进了涵盖芯片设计、芯片制造、封装测试等半导体产业链的相关企业。离子注入机作为芯片制造关键装备之一，成为济南高新区招引的目标。该设备技术壁垒高，研发难度大、周期长，其工艺需精准控制离子注入的剂量、角度、均匀性等参数，精度要求达到纳米级，被誉为芯片的“微型电工师”，海外企业长期占据该产品市场主导份额。

　　为完善集成电路产业链条，补齐芯片制造设备关键短板，济南高新区积极与原广州市艾恩半导体科技有限公司开展对接。该企业聚焦离子注入机的研发生产，提供国产化替代及代工服务，是国内重要的离子注入机设备研制企业之一。为推动项目落地，济南高新区投资促进部联合鲁信创投集团、济南财投基金集团、山东产研创业投资有限公司等投资机构，出资参与该企业天使轮融资，为企业的前期发展注入了关键资金。依托山东产业配套优势，该企业离子注入机所需近2万个零部件中，过半可在山东完成采购和加工，显著降低供应链风险。2024年底，广州市艾恩半导体科技有限公司将总部从广州迁至济南高新区，正式更名为济南市艾恩半导体科技有限公司。

　　2025年4月，艾恩半导体在济南高新区的研发与制造中心正式投产。该制造中心年产能达30台，有效填补了山东省在高端半导体装备制造领域的空白，为国内芯片产业链自主化注入了强劲动能。艾恩半导体自主研发的首台碳化硅高温离子注入机在客户端测试效果超出预期，目前已进入小批量产阶段。对标国际领先技术水平的第二代碳化硅离子注入机正在紧锣密鼓地研发生产过程中，有望于今年9月面世。

　　未来，济南高新区将充分发挥产业资源优势，协助解决艾恩半导体设备量产中的成本与交付难题，助力企业快速响应客户需求，为设备验证与产品应用提供广阔的市场空间。同时联合区内集成电路重点企业及科研院所，开展前沿技术攻关，助力企业突破关键核心技术，全力推动济南高新区集成电路产业补链延链强链。

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