微机电系统工程专业是以机、电技术，尤其是微机械为基础的，综合多种学科领域技术的新型交叉学科。本专业的研究领域主要有微传感器、微加速度计、微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术等。

　　微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。

　　本专业是以机、电技术,尤其是微机械为基础的,综合多种学科领域技术的新型交叉学科。主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造，生产运行?科技开发和技术经济管理方面的人才。

　　本专业学生主要學習微机电系统工程的基本知识、基础理论和研究方法；了解微机电系统工程发展方向；具有从事实际工作的基本能力。

　　本科毕业后能从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面工作。