最高资助3000万！覆盖拉曼/质谱/共聚焦显微等广东启动精密仪器研发计划，核心部件国产化不低于80%

　　广东启动“精密仪器设备”研发计划，聚焦高端科学仪器，支持核心技术攻关与应用，推动产业链与创新链融合。

　　5月15日，广东省科学技术厅发布《广东省重点领域研发计划实施方案》，旨在支持精密仪器 设备领域关键核心技术攻关及应用，推动精密仪器设备领域创新 链与产业链的加速融合，实施“精密仪器设备”专项。

　　聚焦高端科学仪器，以关键核心技术的研发为突破口，以应用需求为导向，鼓励和培育具有原创性、自主可控的仪器设备研制开发和产业化，为科学研究和产业发展提供先 进的精密仪器设备手段和工具，带动精密仪器设备行业整体创新 水平与装备能力提升。

　　四大专题，11个研发方向覆盖光谱仪、质谱仪、共聚焦显微镜等专项共部署4个专题，包括11个方向，项目实施周期一 般为3年左右。专题下每个方向原则上支持1个项目，对评审结 果相近且技术路线明显不同的同一方向可酌情支持2项。原则 上，同一个项目牵头单位与参与单位总数不超过5家。

　　原则 上，同一个项目牵头单位与参与单位总数不超过5家。申报时需 按项目申报，研究内容必须涵盖该项目下所列的全部内容，项目 完成时应完成该项目中所有考核指标，目标

　　率不低于80%。项目验收时，目标产品应通过第三方功能、性 能、电磁兼容性、可靠性测试，鼓励通过环境适应性等测试；核心关键部件、技术、软件实现自主可控，关键考核指标需提供第三方测试报告。

　　鼓励牵头制定国际、国家、行业技术标准和规范，鼓励企业牵头承担项目，鼓励 更多关键零部件实现自主可控，鼓励产学研用联合申报，带动上下游产业链协同发展，鼓励产生规模经济效应，引领产业高质量发展 。

　　其中，方向1.1和方向2.1对通过形式审查的项 目数量和拟立项数量的比例不作要求；

　　方向2.1、方向3.1、方向 3.2和方向3.3须由企业牵头申报并完成；

　　省直有关部门，各地级以上市科技局，横琴粤澳深度合作区经济发展局，各有关单位：

　　为全面贯彻落实党的二十大精神和习总书记关于加强关键核心技术攻关的重要论述精神，按照省委、省政府关于科技创新的相关部署，根据《广东省重点领域研发计划“十四五”行动方案》，现启动2025～2026年度广东省重点领域研发计划“精密仪器设备”专项申报工作（申报指南见附件）。有关事项通知如下：

　　（一）项目牵头申报单位须为省内注册，具有独立法人资格的企业、科研院所、高校、其他事业单位和行业组织等。项目牵头单位应在该领域具有显著优势，具备较强的研究开发实力或资源整合能力，承担项目的核心研究组织任务。项目牵头单位应注重产学研结合、整合省内外优势资源，同时应注重优选合作单位，原则上同一项目牵头单位与参与单位总数不超过5家（含），且各参与单位均应承担实质性攻关任务。

　　（二）项目申报应认真做好经费预算，按实申报，且符合指南要求。申报项目必须有自筹经费投入，指南明确规定须由企业牵头申报的，项目总投入中自筹经费原则上不少于70%；未明确规定须由企业牵头申报的，项目总投入中自筹经费原则上不少于50%。鼓励项目所在地市联合资助。在财政资金分配方面，各单位所分得资金应与所承担任务量相适配，其中牵头单位原则上应分配最大的财政资金份额，省外企业不参与分配财政资金；在自筹经费分担方面，各单位所分担的自筹经费比例应与所获得财政资金比例相适配。

　　（三）省重点领域研发计划申报单位总体不受在研项目数的限项申报约束，但不鼓励同一研究团队或同一单位分散力量，在申报同一专项时，同一研究团队原则上只允许牵头1项或参与1项，同一法人单位（高等院校除外）原则上只允许牵头及参与不超过3项。（四）项目负责人应起到统筹领导作用，原则上应来自项目牵头单位，能实质性参与项目的组织实施，防止出现拉本领域高端知名专家挂名现象。确因项目情况特殊，由非牵头单位人员担任项目负责人的，应建立相应的协同工作机制，为项目负责人组织攻关提供有效保障。

　　（五）项目内容须真实可信，不得夸大自身实力与技术、经济指标。各申报单位须对申报材料的真实性负责，申报单位和推荐单位要落实《广东省科学技术厅科技计划项目科研管理诚信管理办法》（粤科规范字〔2024〕2号）要求，加强对申报材料审核把关，杜绝夸大不实，甚至弄虚作假。各申报单位、项目负责人须签署《申报材料真实性承诺函》（模板可在阳光政务平台系统下载，须加盖单位公章）。项目一经立项，技术、产品、经济等考核指标无正当理由不予修改调整。

　　1.项目负责人有广东省级科技计划项目3项以上（含3项）未完成验收结题（平台类、普惠性政策类、后补助类项目除外）或有项目逾期一年未验收结题；

　　2.项目负责人有在研广东省重大科技专项项目、重点领域研发计划项目未完成验收结题（此类情形下该负责人还可作为参与人员参与项目团队）；

　　5.项目主要内容已由该单位单独或联合其他单位申报并已获得省科技计划立项；

　　7.有尚在惩戒执行期内的科研严重失信行为记录和相关社会领域信用“黑名单”记录；

　　（七）申报项目符合申报指南各专题方向的具体申报条件，所涉科学研究须严格遵循技术标准和伦理规范，遵守国家法律法规和有关规定。

　　（八）各地级以上市科技部门要对推荐项目的申报材料进行审核，必要时对项目牵头单位或参与单位进行现场考察。

　　（一）项目申报采用在线申报、无纸化方式，符合本通知申报条件的单位或个人可用账号登录“广东省政务服务网”或“广东省科技业务管理阳光政务平台（）”查看具体指南文件并提交有关材料，必要的技术、财务、知识产权、合作协议、承诺函、推荐函等佐证支撑材料请以附件形式上传。确有不宜通过网络形式提交的，由申报单位提出书面申请，经省科技厅审核把关后可走线下申报。

　　（三）项目评审评估过程中需要提供书面材料的，由专业机构另行通知提交。（四）项目按程序获得立项后，项目申报书、任务书纸质件再一并报送至省科技厅综合业务办理大厅（均需签名、盖章，提交时间及具体要求另行通知）。

　　省重点领域研发计划项目由第三方专业机构组织评审，对申报项目的背景、依据、技术路线、科研能力、时间进度、经费预算、绩效目标等进行评审论证，并进行技术创新就绪度和知识产权等专业化评估：

　　（一）技术创新就绪度评估。本专项主要支持技术创新就绪度3～6级的项目，项目完成时技术创新就绪度一般应达到7～9级，原则上项目完成后技术创新就绪度应有3级以上提高（技术创新就绪度标准见附件2），各申报单位应在可行性报告中按要求对此进行阐述并提供必要的佐证支撑材料（可行性报告提纲可在阳光政务平台系统下载）。

　　（二）查重及技术先进性分析。将利用大数据分析技术，对照科技部科技计划历年资助项目与广东省科技计划历年资助项目，对拟立项项目进行查重和先进性等分析。（三）知识产权分析评议。项目研究成果一般应有高质量的知识产权，请各申报单位按照高质量知识产权分析评议指引（见附件3）的有关要求，加强本单位知识产权管理，提出项目的高质量知识产权目标，并在可行性报告中按要求对此进行阐述以及提供必要的佐证支撑材料（可行性报告提纲可在阳光政务平台系统下载），勿简单以专利数量、论文数量作为项目目标。

　　（四）立项项目按程序审核报批后纳入项目库管理，视年度财政预算及项目落地情况分批出库支持，结合项目进展分阶段拨付财政资金。

　　（五）本指南中采取“竞争择优”方式的同一申报方向（或项目），如有效申报数量不足3家，将视为竞争性不足，不进入评审评议环节，并不予立项；有效申报数量达3家及以上的，经评审评议后，原则上只立项支持1项（指南有特殊说明的除外），在评审结果相近且技术路线明显不同时，可予以并行支持。

　　申报单位网上集中申报时间为2025年5月16日—2025年6月16日17:00，主管部门网上审核推荐截止时间为2025年6月26日17:00。

　　2025～2026年度广东省重点领域研发计划“精密仪器设备”专项申报指南

　　链与产业链的加速融合，实施“精密仪器设备”专项。本专项目标是：聚焦高端科学仪器，以关键核心技术的研发为突破口，以应用需求为导向，鼓励和培育具有原创性、自主可

　　控的仪器设备研制开发和产业化，为科学研究和产业发展提供先进的精密仪器设备手段和工具，带动精密仪器设备行业整体创新水平与装备能力提升。本专项共部署4个专题，包括11个方向，项目实施周期一

　　般为3年左右。专题下每个方向原则上支持1个项目，对评审结果相近且技术路线明显不同的同一方向可酌情支持2项。原则上，同一个项目牵头单位与参与单位总数不超过5家。申报时需按项目申报，研究内容必须涵盖该项目下所列的全部内容，项目完成时应完成该项目中所有考核指标，目标仪器核心部件国产化率不低于80%。项目验收时，目标产品应通过第三方功能、性能、电磁兼容性、可靠性测试，鼓励通过环境适应性等测试；核心关键部件、技术、软件实现自主可控，关键考核指标需提供第

　　目数量和拟立项数量的比例不作要求；方向2.1、方向3.1、方向3.2和方向3.3须由企业牵头申报并完成；方向4.1采取定向择优方式，另行通知。本专项鼓励申报者提出更优的考核指标，鼓励牵头制定国际、国家、行业技术标准和规范，鼓励企业牵头承担项目，鼓励

　　更多关键零部件实现自主可控，鼓励产学研用联合申报，带动上下游产业链协同发展，鼓励产生规模经济效应，引领产业高质量发展。专题一科学测试分析仪器(专题编号：

　　器、微通道板延迟线探测器及电子学系统等核心部件以及高分辨三维原子层析成像技术、高精度原子尺度质谱分析技术、深紫外激光及高频超短脉冲高压电离蒸发技术、高灵敏度离子探测技术、高速数据采集与分析技术等关键技术的研发。研究自主维护和升级技术、保障数据安全的加密技术，实现国产三维原子探针的整机研制及应用，满足国内材料、半导体、能源、量子科技等领域对原子尺度元素分析的迫切需求，保障国家科技战略安全。2.考核指标

　　,最大高压脉冲频率500kHz;深紫外激光波长≤266±1nm,脉宽≤10ps;微通道板延迟线探测器及电子学系统探测效率≥50%,探测器定时精度≤50ps。完成高精度三维原子探针测量仪的研制，目标仪器中样品台最低温度≤40K;样品空间分辨率≤0.1nm;放大倍数≥100万倍；最大视场≥300nm;脉冲高压与激光混合蒸发模式下，质谱信噪比提高到单一蒸发模式的

　　三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥1000h,核心部件国产化率不低于80%;完成在半导体材料、核能材料、量子材料等至少2个领域应用示范，得到单位示范应用并提供应用报告不少于2份；获得技术发明专利授权不少于5件，牵头或参与制定国家/行业/团体标准或规范不少于1项。3.其他说明与资助强度

　　脉冲光源等关键零部件研制，突破高频超声传播衰减补偿算法、高速精准图像重建算法以及配套硬件、多波段定量分析方法等关键技术，开发具有自主知识产权的、安全稳定可靠、核心部件自

　　实现在动物组织的多功能成像、生物材料分析、工业无损检测等领域的应用。2.考核指标

　　,接收频带覆盖10MHz~120MHz,检测带宽≥100%;多波段光源波长覆盖266nm~3.5μm。完成多波段光声超声成像仪的研制，目标仪器实现光声超声双模态成像，最大成像深度≥5mm,成像范围≥20mm×20mm;实现横向空间分辨率≤30μm,纵向空间分辨率≤10μm,成像帧速度≥10fps。项目完成时通过第三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥1000h,核心部件国产化率不低于80%,完成在生物、医药、材料、工业等至少2个领域应用示范，得到单位示范应用并提供应用报告不少于2家；获得技术发明专利授权不少于3件，牵头或参与制定国家/行业/团体标准或规范不少于1项。3.资助强度

　　展共聚焦显微拉曼-荧光双模成像、抗荧光干扰拉曼数据采集、高光谱分辨分光仪等关键技术，研发相应仪器，开展应用示范推广，实现其在材料科学、半导体器件、环境科学、生物医药等领域的广泛应用。2.考核指标

　　方向(横向)空间分辨率≤0.35μm,Z方向(轴向)空间分辨率≤0.9μm,XY扫描范围50mm;光谱仪时间分辨率≤150ps;至少三种激光激发波长可选，可探测荧光光谱范围≥250nm。完成时空高分辨的共聚焦显微拉曼-荧光双模成像光谱仪的研制，目标仪器拉曼光谱范围100cm¹~4000 cm-¹;抗荧光模式下，拉曼光谱分辨率≤5.0cm-¹,拉曼光谱采样间隔≤1.0cm-¹;拉曼信噪比Si三阶峰≥20:1;抗荧光性能：罗丹明6G(1×10-⁶molL-¹)乙醇溶液中的乙醇拉曼峰(879cm-1,激发波长≤540nm)信噪比≥60:1;核心控制软件、光谱成像软件自主研发。项目完成时通过第三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥1000h,核心部件国产化率不低于80%;完成在生物医药、材料、环境科学等至少2个领域应用示范，得到单位示范应用并提供应用报告不少于2份；获得技术发明专利授权不少于3件，牵头或参与制定国家/行业/团体标准或规范不少于1项。3.资助强度

　　针对高质量分辨率、高质量精度化学分子分析质谱仪需求，开展高灵敏度离子源、高分辨的质量分析器等核心部

　　定的样品传送、智能化数据处理等关键技术研发，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的高分辨质谱仪，开发相关软件和数据库，实现在生命科学、材料科学等领域的应用推广。2.考核指标

　　≤3ppm   RMS(外标法) , 串级质谱级数≥2;信噪比≥100:1@1pg利血平，信噪比≥100:1@1pg羟孕酮；稳定性：5ng mL-¹的利血平连续5次进样CV2%。项目完成时通过第三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥1000h,核心部件国产化率不低于80%;完成在生物医药、环境、食品、材料等至少2个领域应用示范，得到单位示范应用并提供应用报告不少于2份；获得技术发明专利授权不少于3件；牵头或参与制定国家/行业/团体标准或规范不少于2项。3.资助强度

　　求。突破高性能射频和数字芯片、高速复杂硬件、精确测量算法、加速逻辑等技术，研制高端高性能实时示波器设备，填补国内高端实时示波器空白，达到国际先进水平。2.考核指标

　　GHz(-3dB),最大采样率≥200GSas-¹,分辨率≥8bit,动态范围覆盖60mVfs~4Vfs,最大支持通道数4通道@80GHz,单通道存储深度≥2Gpts。目标仪器所构建系统最大带宽≥120GHz(-3   dB),最大采样率≥300GSa s-¹,分辨率≥8bit,动态范围覆盖160mVfs~400mVfs,最大支持通道数4通道@120GHz,单通道存储深度≥2Gpts。项目完成时通过第三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥3000h,核心部件国产化率不低于80%;完成在半导体、光电信息、数字基础设施、大科学装置、新型显示等至少2个领域应用示范，支持实 时机器学习，智能判断5种以上异常信号，得到单位示范应用并提供应用报告不少于2份；获得技术发明专利授权不少于8件；牵头或参与制定国家/行业/团体标准或规范不少于2项；项目期内系

　　性的测试与故障诊断等迫切需求，开发高线性度宽调谐无跳模扫频光源、高速电光调制器、宽带光电探测器等关键部件；开展光电器件多维矢量参数分布式测试及参数精确反演，高速光电协同调控、高性能光器件的分布式参数校正、色散匹配补偿以及缺陷定位分析等关键技术，完成多维矢量参数分布式测试分析仪整机集成并进行应用示范。2.考核指标

　　~1610nm,扫频非线ppm(校正后)。完成光电矢量分析仪的研制，目标仪器中无源光器件光谱分辨率≤100kHz,插入损耗精度≤±0.05dB;群延迟范围≥20ns,色度色散精度≤±1ps nm-¹,偏振模式色散精度≤±0.08ps;空间分辨率≤20μm@100m(反射式);有源光器件频率分辨率≤100kHz,频响测量带宽≥110GHz,频响精度≤±1.7dB。项目完成时通过第三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥1000

　　80%;完成在半导体、通信、光电信息、数字基础设施、新型显示等至少2个领域应用示范，得到单位示范应用并提供应用报告不少于3份；获得技术发明专利授权不少于4件；牵头或参与制定国家/行业/团体标准或规范不少于1项。3.资助强度本方向资助强度不超过1000万元/项。

　　1.研究内容针对未来超高速通信及电子对抗系统研发中对高采样率、大带宽、高存储深度和高精度的任意波形发生器的需求，开展微波

　　一体化集成芯片等核心部件研制，突破光学合成维度高精度波形时域拼接、高速光电子一体化集成芯片、低噪声脉冲光源和超宽带噪声抑制等关键技术，开发具有自主知识产权的国产化超高带宽微波光子任意波形发生器并开展工程化验证。2.考核指标光电一体化集成芯片时延控制精度≤5

　　时延调谐范围≥10ps,损耗调谐精度≤0.1dB,光电调制与探测带宽≥220GHz;高稳定性脉冲光谱宽度≥30nm@1550    nm,时间抖动≤25fs,重复频率10GHz±1kHz。完成超高带宽任意波形发生器的研制，目标仪器实现超宽带任意波形发生，采样率覆盖1GSas-¹~2.56TSas-¹连续可调；单端最大输出电压≥500

　　电压准确度±(10mV+7.5%)(400MHz方波);带宽≥220GHz;通道数≥4;垂直分辨率≥6bits@60GBaud,8bits@40GBaud;固有抖动≤25fs;波形长度1Mpts。项目完成时通过第三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥1000h,核心部件国产化率不低于80%,完成在通信、遥感、数字基础设施等至少2个领域应用示范，得到单位示范应用并提供应用报告不少于2份；获得技术发明专利授权不少于3件；牵头或参与制定国家/行业/团体标准或规范不少于1项。3.资助强度本方向资助强度不超过1000万元/项。

　　低衰减高聚焦声透镜设计制造、并行快速成像等关键技术研发，形成国产自主可控的工业用高分辨率多通道超声扫描显微镜，开展应用示范，填补国产工业用高分辨率多通道超声检测技术空白。2.考核指标

　　;高频超声信号激励接收模块带宽5MHz~500MHz,最大发射电压≥200V,脉冲重复频率≥60kHz;高速数据采集通道数量≥4,采样频率≥2GHz(支持位置触发采集)。完成高分辨率多通道超声扫描显微镜的研制，目标仪器可支持不少于4个通道的换能器同时工作，X/Y轴重复精度≤±0.1μm,最小成像分辨率≤0.5μm,最大扫描速度≥1500 mms-¹,成像范围≥600mm×600    mm,0.02   mm平底孔漏检率≤3%,支持AI图像自动化处理，支持多通道频谱分析算法。项目完成时通过第三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥3000h,核心部件国产化率不低于80%;得到单位示范应用并提供应用报告不少于2份；获得技术发明专利授权不少于3件；牵头或参与制定国家/行业/团体标准或规范不少于1项；项目期内系列产品销售收入不低于3000万元。3.其他说明与资助强度1)本方向须由企业牵头完成；2)本方向资助强度不超过

　　配工艺、主动隔振抑制、几何公差测量评价方法等关键技术研发，实现具有国产自主知识产权的超高精度三坐标测量机的研制

　　可扩展至5轴运动控制，内置驱动控制；高精度探测传感测头分辨率≤0.1μm;国产自主化的三坐标测量软件系统。完成超高精度三坐标测量机的研制，目标仪器中三轴(X/Y/Z)行程≥(600×800×600)mm,重复精度≤0.3μ

　　示值误差≤(0.4+L/500)μm,探测误差≤0.6μm,扫描精度1μm/50s,运行速度≥500mms-¹,运行加速度≥600mms-²。项目完成时，光栅尺、运动控制器、温湿度传感器系统等设备核心部件均实现国产化，并通过第三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥3000h,核心部件国产化率不低于80%;得到单位示范应用并提供应用报告不少于3份；获得技术发明专利授权不少于3件；牵头或

　　定国家/行业/团体标准或规范不少于1项；项目期内系列产品销售收入不低于3000万元。3.其他说明与资助强度1)本方向须由企业牵头完成；2)本方向资助强度不超过

　　光扫描系统及配套工业测量分析软件。实现半导体和材料科学等领域精密量测的应用，形成示范应用。2.考核指标

　　垂向测量重复性≤10nm(50×物镜),垂向测量准确性≤±(0.15+L/100)μm(L单位为μm);横向测量重复性≤38nm(50×物镜),横向测量准确性≤±1.5%;光学分辨率≤0.12μm。项目完成时通过第三方功能、性能、电磁兼容性和可靠性测试，目标仪器平均故障间隔时间≥3000h,核心部件国产化率不低于80%;得到单位示范应用并提供应用报告不少于5份；获得技术发明专利授权不少于3件；牵头或参与制定国家/行业/团体标准或规范不少于1项；项目期内系列产品销售收入不低于3000万元。3.其他说明与资助强度

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