9月4日,第十届“创客中国”江苏省中小企业创新创业大赛总决赛在南京举行。我区派莱特光电科技有限公司的参赛项目“自主可控氟化物薄膜沉积成套装备”,荣获总决赛二等奖。
本届大赛由江苏省工业和信息化厅指导,江苏省中小企业发展中心承办。经过4个月、13场区域赛和5场专题赛的激烈角逐,30个优秀项目从近600个项目中“杀出重围”,迎来最终决战。进入决赛的中小企业和项目大多属于省重点发展的新兴产业集群和产业链,拥有自主知识产权,产品附加值高,凭借独家本领,正全力抢占相关产业链的高端生态位。
派莱特光电科技有限公司主要从事高端蒸发镀膜机、光学磁控溅射镀膜机、空间原子层沉积镀膜机和复合集流体卷绕式镀膜机的研发、生产和销售,推动高端镀膜机国产化。此次获奖的“自主可控氟化物薄膜沉积成套装备项目”,产品用于生产深紫外光学薄膜,具有高真空度、高效稳定加热系统、高温负载行星旋转机构、高洁净度真空环境等优越性能,广泛应用于半导体光刻技术、精密光学仪器、空间探测与天文观测、科研与工业检测、医疗与生物技术等领域。