面向精密工程和微纳技术领域、高端装备制造领域、生物医学领域和相关观测实验领域，以光电转换、机电转换、光机电转换和其它物理转换方式为手段，探索、研究和开发新原理科学仪器、精密测量仪器和专用精密仪器装备。着重培养既有精密仪器及精密机械设计制造基础，又能掌握精密测量和自动控制技术的高层次专门人才。该专业同时拥有硕士学位和博士学位授予权，并设有仪器科学与技术博士后科研流动站。经过“211工程”和”985工程“的建设，拥有几何量测试中心，精密测量、微机电系统等实验室，面积2000余平方米，购置了一批国际先进的仪器设备，实验条件居国内一流。承担的主要科研课题包括国家973项目、国家863项目，国家自然科学基金重点及面上项目，省部级科研项目以及应用工程项目。

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