本专业的研究领域主要有微传感器、微加速度计、微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术等。

　　微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。

　　毕业生可在集成电路制造、航空、航天、机械工程、精密仪器、微电子、医疗器械等行业和领域的研究院所、大中型企业、合资企业及高等院校从事科研、设计、生产等方面的工作。

　　本专业学生主要學習微机电系统工程的基本知识、基础理论和研究方法；了解微机电系统工程发展方向；具有从事实际工作的基本能力。

　　6.具有一定的归纳、整理、分析、设计、撰写论文的基本能力、进行学术交流的能力、较强的创新意识和创新精神。