富睿思仪器专注原子力显微镜与白光轮廓仪自主研发，致力于提供国产高端精密测量解决方案，推动科研与半导体行业发展。

　　当半导体制造向纳米尺度挺进，当新材料研发亟需精准的表面表征，当国产高端仪器“卡脖子”的痛点亟待解决——富睿思瞄准的，正是这片充满挑战与机遇的蓝海。他们聚焦原子力显微镜（AFM）与白光轮廓仪（WLI）等核心设备，致力于打造性能可靠、完全自主的国产化解决方案，为科学研究和泛半导体行业提供强有力的量测支撑。

　　富睿思仪器（FreeSpirit Instruments）创立于2021年，是一家专注于表面精密测量设备自主研发与生产的高新技术企业，主要产品包括原子力显微镜、白光轮廓仪等。创始人及技术团队均出身于天津大学精仪系，具有扎实的技术积累和丰富的实践经验。公司致力于推动先进量测技术的发展，为科学研究和泛半导体行业提供可靠的国产解决方案。近日，仪器信息网材料物性部走进富睿思生产基地——富睿思(苏州)仪器有限公司，特别采访了富睿思仪器联合创始人兼首席科学家、天津大学副教授

　　原子力显微镜领域。从博士阶段到留校任教，十余年的深耕让他对这项技术的理解早已超越理论层面。“当时评估了我们的技术水平达到了一定成熟度，就启动了产品化进程——创立了企业，”吴森回忆，“让研究成果落地”正是他的初衷。

　　研发-生产-运营三地协同” 的格局：苏州作为生产基地，天津承载研发核心，上海总部负责战略统筹。过去四年，团队不仅按计划搭建起多条产品线年实现了向科研院所及工业客户的交付，2025年启动的品牌推广计划，则让“富睿思”这个名字开始在行业内崭露头角。

　　“专注于表面精密测量设备的自主研发与制造，目前产品以原子力显微镜和白光轮廓仪为主，”谈及公司定位，吴森的目标清晰而坚定，“首先要成为国内表面精密测量领域的领军企业，未来时机成熟，还会拓展更多量测技术相关业务。” 目前公司已形成的产品线包括：原子力显微镜系列，推出了5款面向半导体工业和材料科研领域的机型；白光轮廓仪系列，推出了1款紧凑机型，同时支持特殊定制。

　　2018年的一次技术授权，至今让吴森记忆犹新。团队开发的基于原子力显微镜的掩模板修复技术获原子力显微镜全球顶尖制造商的青睐。这项成果授权后最终应用于国际头部半导体企业的EUV产线，解决了困扰行业的EUV掩模修复难题。“我从没想过，我们这样的团队能向国外顶尖企业输出技术，还能为全球最先进的半导体制程做贡献。”吴森笑言。这笔授权收入不仅成了创业的启动资金，更让团队确信：“中国技术能解国际难题。”

　　真正的“硬核攻关”发生在2019年。控制器作为原子力显微镜的“发动机”，直接决定设备测量能力的上限。他们研发的基于FPGA架构的通用型原子力显微镜控制器，集成了大量高速、高精度的ADC和DAC，能同时实现不少于四个通道的数字锁相放大，性能直指国外一流产品。2020年，这款控制器成功交付给国内同行并实现量产，经过多年迭代，现已成为性能顶尖的国产控制器。“它证明了我们在关键电子系统和软件方面的开发实力，也让我们相信我们具备研制高端原子力显微镜的潜力。”

　　从部件到整机”的跨越。在国家重点研发项目支持下，团队向国家计量院交付了一台适用于12英寸晶圆的计量型原子力显微镜。这台设备搭载自研的三维扫描式测头，验证了光路和机械结构的一系列创新设计。2023年，团队自研的面向大型显示面板在线检测的自动化原子力显微镜在武汉华星光电完成示范应用，并通过科技部验收。“这验证了我们的设备在复杂工况中的稳定性。”吴森说。

　　如今，富睿思的产品线已初具规模。走进富睿思的产品世界，会邂逅一场科学与艺术的浪漫交响——其AFM与WLI产品均以乐器命名。“仪器和乐器在英文中都是的‘Instrument，”吴森笑着解释命名渊源。AFM-Baritone(男中音)象征厚重性能，配备200毫米全自动样品台，可处理8英寸晶圆;AFM-Piccolo(短笛)以7毫米超薄测头实现光学显微系统的原位集成，如短笛般轻盈精准;WLI-Marimba(马林巴琴)白光轮廓仪则能与Piccolo同轴联动，奏响“大范围快速扫描”与“微区高分辨成像”的协奏。

　　关键技术指标和基本性能素质上已不逊于一线进口品牌的旗舰产品，”吴森直言富睿思的核心竞争力。团队通过系列独创设计直击行业痛点：三维正交扫描测头不受样品尺寸重量限制，消除图像拱形畸变；自动换针系统 “一键完成”探针装卸和激光调整，规避人为失误；变速变增益扫描技术自动优化扫描参数，显著延长探针寿命并提升大起伏样品成像质量；真三维测量模式则实现了陡峭侧壁探测，提供完整三维形貌。

　　快速响应”。“我们能实时解析半导体、面板企业的特殊需求，基于自主研发能力快速定制方案。”

　　历史性拐点”：政策支持、市场需求、技术积累形成了三重共振。 他观察到，仅原子力显微镜领域，国内就涌现出10余家创新企业（苏州占4家），“但这只是起点，大家要沉下心做技术，做出特色，”是他对国产仪器前景的看好。

　　富睿思的目标清晰而坚定，是抓住国产仪器的政策与市场机遇，全力突破创新，实现企业发展的“阶段性跃迁”。吴森的愿景很明确——希望富睿思成为国内这个领域的领军者，再走向世界，成为有国际竞争力的品牌。他还有个更感性的期待：“希望下一代读大学时，能在实验室里用上父辈开发的仪器——那会是一件无比自豪的事。”

　　江苏省市场监督管理局（机关）3000.00万元采购天平,颗粒物采样器,冲击试验机,气体采样器,气体流...

　　国际“出圈” 中国超分辨力量的全球答卷——超视计2025半年度海外征程全景回顾

　　璞璘科技交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻系统!——致敬纳米压印技术发明30周年